Dikte-afsetting-uniformiteit
Inleiding
Magnetron sputtering coating word wyd toegepas in die groot area afsetting, en dun film dikte eenvormigheid, afsetting verhouding, benutting verhouding van teiken materiaal en ander probleme in coating industrie word groot aandag gegee.
Of dit nou 'n halfgeleierskyfie met 'n beskermende dun film bedek of 'n anti-reflektiewe laag op 'n brillens aanbring, prosesingenieurs moet sekere dikte-spesifikasies bereik om aan prestasievereistes te voldoen. Net so belangrik as die filmdikte self is die eenvormigheid van die dikte.
Faktore wat neerslagprestasie bepaal
Afsetting, 'n proses wat gebruik word om dun lae materiaal (of film) op 'n substraat neer te sit, is 'n algemene praktyk in nywerhede soos halfgeleiers en nanotegnologie. Dunfilmneerlegging kan bereik word met 'n verskeidenheid tegnologieë wat films kan verskaf wat wissel van isolators tot halfgeleiers tot metale. Die rolprente kan rolle ewe uiteenlopend dien wat wissel van tussenlaagdiëlektrika tot onderlinge verbindings.
Buigsaamheid
Buigsaamheid, die reeks vermoëns wat 'n stelsel het, kan 'n belangrike faktor wees om 'n besluit te neem oor watter tipe afsettingstelsel om te verkry. Dit is meer waar vir R&D-omgewings eerder as industriële toepassings waar spesifieke oplossings dikwels verkies word. Begrip van die materiale wat neergelê kan word, substraatgroottes, temperatuurreekse, ioonvloed, afsettingstempo's, frekwensies, eindpunt en drukbedryfstelsel is slegs enkele van die oorwegings. Buigsaamheid is ook 'n stelselkwaliteit wat beplanning vir die toekoms moontlik maak. In R&D verander prioriteite en dit is nuttig om 'n stelsel te hê wat daardie veranderinge kan hanteer. Bo-op hierdie oorweging is begroting. Afhangende van die tipe tegnologie-opsies, kan stelsels aansienlik verskil in prys.
Toetsverslag vir VPI-bedekkingsmodel:SD-900M
Linkerkantfoto