אחידות בתצהיר עובי
מבוא
ציפוי מקרטעת Magnetron מיושם באופן נרחב בתצהיר שטח גדול, ואחידות עובי הסרט הדק, יחס התצהיר, יחס הניצול של חומר היעד ובעיות אחרות בתעשיית הציפוי מקבלים תשומת לב רבה.
בין אם מדובר בציפוי שבב מוליכים למחצה בסרט דק מגן או מריחת ציפוי אנטי-רפלקטיבי על עדשת משקפיים, מהנדסי תהליכים צריכים להשיג מפרטי עובי מסוימים כדי לעמוד בדרישות הביצועים. לא פחות חשובה כמו עובי הסרט עצמו היא אחידות העובי.
גורמים הקובעים את ביצועי התצהיר
שיקוע, תהליך המשמש להפקדת שכבות דקות של חומר (או סרט) על גבי מצע, הוא נוהג נפוץ בתעשיות כמו מוליכים למחצה וננוטכנולוגיה. ניתן להשיג שקיעת סרט דק עם מגוון טכנולוגיות שיכולות לספק סרטים החל ממבודדים, מוליכים למחצה ועד מתכות. הסרטים יכולים לשרת תפקידים מגוונים באותה מידה שנעים בין דיאלקטריות בין-שכבות לחיבורים.
גמישות
גמישות, טווח היכולות שיש למערכת, עשויה להיות גורם משמעותי בקבלת ההחלטה איזה סוג של מערכת הפקדה לרכוש. זה נכון יותר עבור סביבות מו"פ ולא יישומים תעשייתיים שבהם פתרונות ספציפיים מועדפים לעתים קרובות. הבנת החומרים שניתן להפקיד, גדלי מצע, טווחי טמפרטורות, שטף יונים, קצבי שיקוע, תדרים, נקודת קצה ומשטר פעולת לחץ הם רק חלק מהשיקולים. גמישות היא גם איכות מערכת המאפשרת תכנון לעתיד. במו"פ משתנה סדרי העדיפויות וזה שימושי שתהיה מערכת שיכולה להתמודד עם השינויים האלה. על השיקול הזה מונח תקציב. בהתאם לסוג האפשרויות הטכנולוגיות, מערכות עשויות להשתנות במחיר באופן משמעותי.
דוח בדיקה עבור דגם ציפוי VPI:SD-900M
תמונת צד שמאל
טמפרטורת תהליך
תכונות הסרט מושפעות מאוד מטמפרטורת התהליך. עם זאת, היישום יכול להטיל מגבלות על הטמפרטורה שניתן להשתמש בה. לדוגמה, ההתעניינות האחרונה באלקטרוניקה גמישה אשר משתמשת לעתים קרובות במצעים פולימריים, מוגבלת על ידי נקודת ההיתוך או טמפרטורת הזרימה החוזרת של אותם פולימרים. חלק מהמוליכים למחצה מורכבים מוגבלים על ידי מגעים אוהמיים שמתכלים בטמפרטורות גבוהות יותר. טכנולוגיות השקיעה השונות פועלות בצורה הטובה ביותר בטווחי טמפרטורות מוגבלים.
