top of page
אחידות בתצהיר עובי
מבוא
ציפוי מקרטעת Magnetron מיושם באופן נרחב בתצהיר שטח גדול, ואחידות עובי הסרט הדק, יחס התצהיר, יחס הניצול של חומר היעד ובעיות אחרות בתעשיית הציפוי מקבלים תשומת לב רבה.
בין אם מדובר בציפוי שבב מוליכים למחצה בסרט דק מגן או מריחת ציפוי אנטי-רפלקטיבי על עדשת משקפיים, מהנדסי תהליכים צריכים להשיג מפרטי עובי מסוימים כדי לעמוד בדרישות הביצועים. לא פחות חשובה כמו עובי הסרט עצמו היא אחידות העובי.
גורמים הקובעים את ביצועי התצהיר
שיקוע, תהליך המשמש להפקדת שכבות דקות של חומר (או סרט) על גבי מצע, הוא נוהג נפוץ בתעשיות כמו מוליכים למחצה וננוטכנולוגיה. ניתן להשיג שקיעת סרט דק עם מגוון טכנולוגיות שיכולות לספק סרטים החל ממבודדים, מוליכים למחצה ועד מתכות. הסרטים יכולים לשרת תפקידים מגוונים באותה מידה שנעים בין דיאלקטריות בין-שכבות לחיבורים.
bottom of page