膜厚の均一性

マグネトロン スパッタリング コーティングは大面積の成膜に広く適用されており、薄膜の厚さの均一性、成膜率、ターゲット材料の利用率など、コーティング業界では大きな注目を集めています。

 

半導体チップを保護薄膜でコーティングする場合でも、眼鏡レンズに反射防止コーティングを適用する場合でも、プロセス エンジニアは、性能要件を満たすために特定の厚さの仕様を達成する必要があります。膜厚そのものと同じくらい重要なのは、膜厚の均一性です。