배터리 혁명: VPI 고진공 마그네트론 스퍼터링 시스템이 첨단 에너지 소재에 동력을 공급합니다.

최근 몇 년 동안 리튬 이온 배터리, 고체 배터리, 나트륨 이온 배터리와 같은 에너지 저장 기술의 급속한 발전은 "배터리 혁명"을 일으켰습니다. 더 높은 에너지 밀도, 더 긴 수명, 향상된 안전 성능을 달성하려면 혁신적인 배터리 소재의 개발이 크게 필요합니다. 고품질 박막 전극과 기능성 코팅은 배터리 성능을 향상시키는 데 중요한 역할을 합니다. 고진공 증착 기술, 특히 마그네트론 스퍼터링은 밀도가 높고 순수하며 기능성 박막을 정밀하게 생산할 수 있는 능력으로 인해 각광을 받고 있으며, 고급 에너지 소재 제작에 필수적인 도구가 되고 있습니다.

진공 코팅 및 재료 과학 장비를 전문으로 하는 선도적인 첨단 기술 기업인 Vision Precision Instruments(VPI)는 SD-650 시리즈 고진공 마그네트론 스퍼터링 시스템을 출시하여 첨단 에너지 소재 연구 및 개발에 강력한 추진력을 제공했습니다.

SD-650 시리즈의 기술적 특징:

초고진공 및 효율적인 진공 펌핑 시스템: 몇 분 안에 진공 수준을 10^-4 Pa까지 달성하고, 궁극적인 진공은 5×10^-5 Pa입니다. 이 고진공 환경은 증착 중 순도를 보장하여 불순물을 줄이고 고품질 필름을 생산합니다.

단일/듀얼/멀티 타겟 마그네트론 스퍼터링 소스: 두 개 이상의 마그네트론 타겟 설치를 지원하여 단일 진공 사이클 내에서 다양한 재료의 연속 스퍼터링을 가능하게 하고 다층 복합 필름 생산을 용이하게 합니다.

다양한 전원 공급 옵션(DC/RF): 직류(DC) 스퍼터링은 전도성 재료에 적합한 반면, 무선 주파수(RF) 스퍼터링은 절연 재료를 수용하므로 스퍼터링이 가능한 타겟 재료의 범위가 크게 확장됩니다.

정밀 진공 및 가스 흐름 제어: 실시간 진공 모니터링과 가스 흐름의 정밀한 밸브 제어를 위한 통합 합성 진공 게이지를 장착하여 스퍼터링 증착 공정 중 안정성과 반복성을 보장합니다.

고급 인터페이스 및 안전 기능: 사용자 친화적인 터치스크린으로 전체 프로세스에서 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 안전 조치에는 수냉 순환 시스템과 과압 완화가 포함되어 있어 안정적인 작동을 보장합니다.

코팅 균일성 및 필름 품질: 원형 자기장 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 강한 접착력, 최소한의 기판 온도 상승을 갖는 균일하고 밀도가 높은 코팅을 생산합니다. 특히 열에 민감한 재료에 유용합니다.

소형 디자인과 사용자 친화적 작동: 소형 구조로 설치, 작동, 유지관리가 간편하여 연구실에서 빠르게 도입하기에 적합합니다.

에너지 저장 재료 준비의 장점:

박막 전극 제조: 박막 두께와 균일성을 정밀하게 제어하여 배터리 사이클 안정성과 속도 성능을 크게 향상시킵니다.

전해질/계면 기능층 제조: 전극 계면에 치밀한 보호층을 형성하여 부작용을 억제하고 배터리 수명과 안전성을 향상시킵니다. 특히 리튬 금속 및 고체 배터리에 유용합니다.

전도성 필름 및 전류 집전체 개질: 배터리 전극과 전류 집전체에 고성능 전도성 층을 생성하여 계면 저항을 줄이고 전반적인 배터리 성능을 향상시킵니다.

최첨단 배터리 연구 분야의 응용 분야:

고에너지 리튬 및 리튬 금속 배터리: 정밀한 표면 개질 및 계면 코팅을 통해 배터리 안정성과 안전성을 향상시킵니다.

고체 전지: 전극과 전해질 사이의 긴밀한 접촉과 안정적인 계면을 달성하여 계면 임피던스를 낮추고 소재 개발과 응용을 가속화합니다.

나트륨 이온 배터리와 같은 새로운 시스템: 다양한 박막 소재의 신속한 제작과 평가를 용이하게 하여 새로운 배터리 기술에 대한 탐구를 가속화합니다.

고객 사례 및 연구 협업:

전국의 수많은 대학과 연구 기관에서 VPI 스퍼터링 장비를 에너지 소재, 반도체 박막 및 광전자 소자 연구에 활용했습니다. 창춘 이공대학과 상하이 교통대학과 같은 기관에서는 에너지 소재 연구 프로젝트에 SD-650MHT 시스템을 성공적으로 도입하여 장비의 우수성을 검증했습니다. 또한 VPI는 에너지 산업 기업과 협력하여 시범 생산 및 신소재 개발에 장비를 사용하고 수백 명의 고객에게 서비스를 제공하며 광범위한 인정을 받고 있습니다.

새로운 소재 기술의 혁신은 종종 고급 제조 공정에 의해 주도됩니다. VPI SD-650 시리즈 고진공 마그네트론 스퍼터링 시스템은 고순도, 뛰어난 균일성 및 제어 가능한 증착 공정을 제공하여 에너지 저장 소재의 연구 및 산업화에 크게 기여합니다. 고에너지 밀도 배터리에서 고체 및 나트륨 이온 배터리에 이르기까지 SD-650 시리즈는 에너지 기술의 진보와 혁신을 계속 주도하고 있습니다. VPI는 진공 코팅 기술을 발전시키고 산업과 협력하여 에너지의 미래를 형성하는 데 전념하고 있습니다.