자주 묻는 질문

Customized vacuum coating solutions successfully overcome adhesion issues, film oxidation discoloration, and thickness non-uniformity in thick film preparation

진공 코팅 및 재료 과학 장비를 전문으로 하는 선도적인 첨단 기술 기업인 Vision Precision Instruments(VPI)는 SD-650 시리즈 고진공 마그네트론 스퍼터링 시스템을 출시하여 첨단 에너지 소재 연구 및 개발에 강력한 추진력을 제공했습니다.

마그네트론 스퍼터링과 열 증발은 모두 박막 코팅을 위한 널리 사용되는 물리적 기상 증착(PVD) 기술입니다. 두 방법 모두 유사한 재료(예: 스퍼터링용 탄소 타겟 및 증발용 탄소 막대)를 코팅할 수 있지만, 각각 반도체 및 광학 응용 분야에서 고유한 강점이 있습니다. 여기서는 Vision Precision Instruments의 VPI SD-650MH 마그네트론 스퍼터 코터와 SD-100AF 고진공 열 증발기를 사용하여 이 두 가지 기술을 비교하여 특정 요구 사항에 가장 적합한 접근 방식을 결정하는 데 도움을 드립니다.

전자 현미경(EM)은 마이크로/나노 구조를 탐구하는 데 중요한 도구입니다. 다양한 유형의 전자 현미경에서 샘플의 고해상도 및 선명한 이미지를 보장하기 위해 샘플 표면에 전도성 박막을 준비해야 합니다. 필름에 대한 대상 재료의 선택 및 준비는 이미징 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 따라서 다양한 재료(대상)의 특성과 적합한 응용 분야를 이해하는 것이 필수적입니다.

고진공 스퍼터링 코팅 장비(VPI 650MH 시리즈 스퍼터링 코터)에서 가스 흐름을 제어하는 것은 스퍼터링 공정의 안정성에 매우 중요합니다. 일반적인 가스 흐름 제어 장치에는 전자기 흐름 밸브(Em)와 질량 흐름 컨트롤러(MFC)가 있습니다. 작동 원리와 적용 시나리오가 다르므로 어떻게 선택해야 할까요?

새해 복 많이 받으세요! VPI가 뱀의 해를 위한 새로운 장을 열어드립니다! 🎉🐍

신뢰와 지지에 감사드립니다. 손을 잡고 더욱 빛나는 2025년을 향해 나아가자!

새해가 다가오면서 VPI는 귀하의 지속적인 지원과 신뢰에 대한 진심 어린 감사를 표하기 위해 2025년 달력을 특별히 디자인했습니다. 지난 20년 이상, 고진공 코팅, 샘플 준비, 소모품 및 액세서리, 맞춤 조달 서비스 등에서 귀하의 신뢰는 항상 지속적인 개선을 위한 우리의 원동력이었습니다.

VPI의 고진공 마그네트론 시리즈 스퍼터링 코팅 장비를 사용하는 과정에서 스퍼터링 타겟은 고품질 박막을 얻는 데 필수적인 구성 요소입니다. 그러나 스퍼터링 공정의 안정성과 효율성을 보장하기 위해 타겟에는 일반적으로 백킹 플레이트가 장착되어야 합니다. 그렇다면 타겟에 백킹 플레이트가 필요한 이유는 무엇일까요? 스퍼터링 중에 백킹 플레이트는 어떤 역할을 할까요? VPI의 엔지니어 리가 간단한 기술적 설명을 제공할 것입니다.

VPI 시리즈 코터의 필름 두께 추정

현대 산업 제조에서 박막 기술은 반도체, 광학 장치, 장식용 코팅 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 박막의 두께는 제품의 성능과 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 따라서 코팅 공정 중 박막 두께를 실시간으로 모니터링하는 것이 중요합니다. VPI의 R&D 엔지니어는 코팅 장비에 박막 두께 모니터를 장착해야 하는 이유를 소개하고 작동 원리를 설명하며, 650MH 고진공 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계와 900M 샘플 준비 코팅 기계의 응용 분야에 초점을 맞춥니다.

재료 과학 및 엔지니어링 분야에서 박막 준비는 중요한 단계입니다. 박막의 두께를 정확하게 제어하는 것은 제품 성능과 품질을 보장하는 데 필수적입니다. 이 글에서는 필름 두께를 추정하는 방법과 샘플 준비에 코팅 기계를 사용할 때의 특정 계산 논리를 소개하여 연구자와 엔지니어가 실험 효율성과 결과 신뢰성을 개선하는 데 도움을 줍니다.

최근 Vision Precision Instruments는 창춘 이공대학 화학공학과에 고진공 마그네트론 듀얼 타겟 스퍼터링 코터(SD-650MHT)를 설치하고 배치할 기회를 얻게 되어 기뻤습니다. 창춘 이공대학의 재료 과학 연구에 기여하게 되어 영광입니다.

필름의 품질, 두께 균일성 및 성능에 영향을 미치는 주요 매개변수로서 스퍼터링 속도는 타겟 유형, 진공도, 작동 가스 압력, 전원 공급, 자기장 강도 등을 포함한 여러 요인의 영향을 받습니다. 이러한 요인이 스퍼터링 속도에 미치는 영향을 철저히 이해하는 것은 공정 매개변수를 최적화하고 필름의 품질을 개선하는 데 매우 중요합니다.

현대 재료 과학 및 나노 기술 분야에서 박막의 샘플 준비 기술은 핵심 연구 주제가 되었습니다. 이러한 박막 재료는 전자 장치, 광학 장치, 바이오 센서, 촉매 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 다양한 응용 분야에서 우수한 특성을 가진 필름을 얻으려면 적절한 대상 재료를 선택하고 고성능 코팅 장비를 사용하는 것이 필수적입니다. 이 기사에서는 VPI의 SD-900M 모델 코터에서 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt) 및 금 팔라듐(Au/Pd) 대상의 적용과 샘플 준비에서의 차이점을 자세히 설명합니다.

SD-650MHT 스퍼터링 코팅기는 첨단 기계 설계와 정밀 제어 시스템을 채택하여 매우 높은 진공 수준과 안정적인 가스 제어 기능을 제공합니다. 핵심 구성 요소에는 회전 진공 펌프와 터보 분자 펌프의 조합이 포함되어 있어 5×10^-5Pa의 최종 진공을 빠르게 달성하여 코팅 공정 중 높은 효율성과 안정성을 보장합니다. 또한 이 기기에는 직경 260mm, 높이 200mm의 금속 챔버가 장착되어 있어 더 큰 샘플 크기를 허용하고 다양한 실험적 요구 사항을 충족합니다.

오늘 저희는 새로운 음극선 발광 장비의 출시를 발표하게 되어 자랑스럽습니다. 이 장비는 보석이나 광물과 같은 고체 물질의 특성을 분석하기 위해 특별히 설계된 정밀 장비로, 재료 과학 분야에 더 많은 솔루션을 제공하고자 합니다.

용의 해에 행운을 빌어요! 모든 것이 바라는 대로 되기를 바라며, 마음의 평화와 건강을 누리시길 바랍니다!

새해 복 많이 받으세요!!

VPI China에서 메리 크리스마스를 전합니다