전자기 유량 밸브(Em) 대 가스 질량 유량 제어기(MFC): 어떻게 선택해야 할까?

전자기 유량 밸브: 비교적 간단한 구조, 온/오프 제어에 적합

작동 원리

전자기 유량 밸브는 전자석을 기반으로 밸브 스위칭을 제어하는 장치로 전자기 릴레이와 유사하게 작동합니다.

• 솔레노이드 코일에 전원이 공급되면 전자석이 자기장을 생성하여 밸브 코어가 열리고 가스가 흐를 수 있게 됩니다.

• 솔레노이드 코일에 전원이 공급되지 않으면 자기장이 사라지고, 스프링이나 공기압으로 인해 밸브 코어가 닫히고 가스 흐름이 멈춥니다.

• 또한 PWM(펄스 폭 변조)을 사용하여 간단한 유량 조정을 달성할 수 있지만 제어 정밀도가 낮습니다.

  
  

장점

✅ 간단한 구조, 저렴한 가격✅ 빠른 스위칭 제어에 적합✅ 쉬운 유지 보수, 긴 서비스 수명

단점

❌ 가스 흐름을 정밀하게 조절할 수 없고, 온/오프 제어에만 적합❌ 흐름 안정성이 낮고, 환경 온도 및 압력 변화에 크게 영향을 받음

응용 프로그램 시나리오

• 간단한 온/오프 제어가 필요한 가스 회로 시스템

• 진공 추출 전 진공 챔버로의 거친 가스 제어

• 일반 가스 수송과 같이 흐름 정밀도가 중요하지 않은 응용 분야

가스 질량 유량 컨트롤러(MFC): 고정밀 유량 제어

작동 원리

MFC는 열 질량 유량 센서 또는 차압 측정 기술을 전자 피드백 제어와 결합하여 가스 질량 유량 (체적 유량이 아님)을 정밀하게 조절합니다.

• 센서는 가스 흐름을 지속적으로 감지하고 제어 시스템에 데이터를 전송합니다.

• 제어 시스템은 설정값을 비교하고 비례 밸브를 통해 유량을 조정하여 안정적으로 유지합니다.

• 질량 유량 측정을 사용하므로 온도나 압력 변화의 영향을 받지 않습니다.

장점

✅ 높은 정밀도(일반적으로 설정 값의 ±1% 이상)✅ 안정적인 가스 흐름 제어 가능✅ 유연한 조정으로 다양한 공정 가스에 적합✅ 환경 변화의 영향을 덜 받아 장기적으로 안정적인 흐름 보장

단점

❌ 높은 비용❌ 정확성을 보장하기 위해 주기적인 교정이 필요합니다.

응용 프로그램 시나리오

• 고진공 스퍼터링 코팅 공정 , 공정 가스 흐름의 정밀한 제어(예: 아르곤, 산소, 질소)

• 반도체 제조 , 증착(PVD)에 사용

• 가스 분석 장비 , 엄격한 가스 흐름 제어가 필요한 응용 분야

• 화학 및 생물공학 , 반응가스 흐름의 정밀제어

어떻게 선택하나요?

고진공 스퍼터링 코팅 장비를 어떻게 선택해야 하나요?

• 진공 챔버 배기 제어나 거친 가스 흡입 조절 등 가스 전환만 필요한 경우 전자기 유량 밸브(Em)를 선택할 수 있습니다.

• 코팅 공정에서 균일성과 안정성을 확보하기 위해 정밀한 가스 흐름 조절이 필요한 경우 MFC(질량 유량 제어기)가 필수적입니다.

고진공 스퍼터링 코팅 장비에서 MFC는 때때로 필수적입니다 . 정밀한 가스 흐름 제어는 코팅 품질과 반복성에 직접적인 영향을 미치기 때문입니다. 코팅 장비를 선택하거나 업그레이드하는 경우 VPI의 기술 엔지니어에게 문의하여 실험에 맞는 최상의 솔루션을 찾으십시오.