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고진공 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기 SD-650MHT 개량형

자오팅팅 - VPI

Jul 11, 2024

SD-650MHT 스퍼터링 코팅기는 첨단 기계 설계와 정밀 제어 시스템을 채택하여 매우 높은 진공 수준과 안정적인 가스 제어 기능을 제공합니다. 핵심 구성 요소에는 회전 진공 펌프와 터보 분자 펌프의 조합이 포함되어 있어 5×10^-5Pa의 최종 진공을 빠르게 달성하여 코팅 공정 중 높은 효율성과 안정성을 보장합니다. 또한 이 기기에는 직경 260mm, 높이 200mm의 금속 챔버가 장착되어 있어 더 큰 샘플 크기를 허용하고 다양한 실험적 요구 사항을 충족합니다.

고진공 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기 SD-650MHT 개량형

 

최근 Vision Precision Instruments(VPI)는 스퍼터링 코팅 장비의 최신 업그레이드 버전인 SD-650MHT Enhanced Version을 공식 출시했습니다. 이 장비는 뛰어난 성능과 편리한 작동을 자랑하며 올해 이미 여러 국내 대학 및 연구소와 계약을 체결하여 연구 기관의 필수 선택이 되었습니다.


 

제품 소개

SD-650MHT 스퍼터링 코팅기는 첨단 기계 설계와 정밀 제어 시스템을 채택하여 매우 높은 진공 수준과 안정적인 가스 제어 기능을 제공합니다. 핵심 구성 요소에는 회전 진공 펌프와 터보 분자 펌프의 조합이 포함되어 있어 5×10^-5Pa의 최종 진공을 빠르게 달성하여 코팅 공정 중 높은 효율성과 안정성을 보장합니다. 또한 이 기기에는 직경 260mm, 높이 200mm의 금속 챔버가 장착되어 있어 더 큰 샘플 크기를 허용하고 다양한 실험적 요구 사항을 충족합니다.

 

주요 특징

1. 효율적인 진공 시스템**: 오일 회전 진공 펌프와 오일 프리 터보 분자 펌프를 결합하면 필요한 진공 수준에 빠르게 도달하여 실험 효율성을 높일 수 있습니다.

2. 정밀한 가스 제어**: 내장된 가스 유량 제어 밸브는 대기압에서 10^-6Pa까지 광범위한 측정 범위를 지원하여 스퍼터링 코팅의 정밀성을 보장합니다.

3. 사용자 친화적 인터페이스**: 터치스크린 디자인은 간단하고 직관적입니다. 사용자는 화면을 통해 다양한 매개변수를 쉽게 설정하고 코팅 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.

4. 안전성 및 신뢰성**: 누출 보호 및 진공 시스템 보호를 포함한 다양한 보호 조치로 장비와 인력 모두의 안전을 보장합니다.

5. 다양한 용도**: 다양한 재료 코팅 요구 사항, 특히 약자성 물질의 스퍼터링 타겟에 적합하여 적용 범위가 크게 확장됩니다.

 

사용 권장 사항

SD-650MHT는 신중하게 설계되었으며, 사용자에게 메인 유닛과 캐비닛을 데스크탑에 나란히 놓고 냉각 상자와 기계식 펌프를 바닥에 두는 것을 권장합니다. 이 장비에는 3mm 이중 금속 페룰 아르곤 가스 인터페이스가 있는 아르곤 가스 장비가 필요하며, 이 인터페이스는 3mm 스테인리스 스틸 호스에 연결할 수 있습니다. 기계를 시작하기 전에 최적의 작동 조건을 보장하기 위해 냉각 상자 온도를 20℃로 설정하는 것이 좋습니다.

 

비전정밀기계

SD-650MHT 스퍼터링 코팅기 출시는 고정밀 코팅 기술 분야에서 VPI의 지속적인 반복과 빠른 기술 축적을 의미합니다. 고효율, 정밀성, 편의성 및 비용 효율성의 특징은 연구자와 실험실에 새로운 경험과 더 높은 작업 효율성을 가져다 줄 것입니다. VPI는 고객에게 더 나은 제품과 서비스를 제공하기 위해 "탁월성 추구"의 정신을 계속 고수할 것입니다.

 

자세한 내용은 VPI 중국 공식 웹사이트: http://www.vpichina.com 또는 VPI 글로벌 웹사이트: http://www.vpi2004.com 을 방문하세요.

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VPI 중국:www.vpicina.com   

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