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SEM 샘플을 준비하기 위한 VPI의 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터

팅팅 자오

Mar 11, 2023

시중에는 여러 종류의 스퍼터 코터가 있지만 VPI의 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터는 가장 효율적이고 사용하기 쉬운 코터 중 하나입니다. 이 글에서는 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용하여 SEM 샘플을 준비하는 방법과 다른 코터에 비해 왜 최고인지에 대한 자세한 가이드를 제공합니다.

SEM 샘플을 준비하기 위한 VPI의 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터


주사 전자 현미경(SEM)은 재료 과학에서 다양한 샘플을 이미지화하고 분석하는 데 사용되는 귀중한 도구입니다. 그러나 고품질 SEM 이미지를 얻으려면 샘플을 적절하게 준비해야 합니다. 샘플을 준비하는 한 가지 방법은 스퍼터 코팅이라고 알려진 프로세스를 사용하는 것입니다. 스퍼터 코팅은 SEM 이미지 품질을 개선하기 위해 샘플 표면에 전도성 물질의 얇은 층을 증착하는 것을 포함합니다.

시중에는 여러 종류의 스퍼터 코터가 있지만 VPI의 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터는 가장 효율적이고 사용하기 쉬운 코터 중 하나입니다. 이 글에서는 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용하여 SEM 샘플을 준비하는 방법과 다른 코터에 비해 왜 최고인지에 대한 자세한 가이드를 제공합니다.

 

배경


모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터는 마그네트론 소스를 사용하여 작동하는 진공 스퍼터 코터의 한 유형입니다. 이 마그네트론 소스는 타겟 물질에서 샘플 표면으로 원자를 스퍼터링하는 데 사용되는 이온화된 가스의 플라즈마를 생성합니다. 모델 900M은 금, 은, 백금과 같은 전도성 금속을 포함한 광범위한 재료를 증착할 수 있는 다재다능한 코터입니다.


모델 900M 코터는 다른 스퍼터 코터에 비해 여러 가지 장점이 있습니다. 첫째, 균일하고 재현 가능한 코팅을 생산할 수 있는 고성능 코터입니다. 둘째, 모델 900M은 사용하기 매우 편리하며 직관적인 인터페이스로 작동하기 쉽습니다. 마지막으로, 모델 900M은 다양한 샘플 크기와 모양을 수용할 수 있는 다재다능한 코터입니다.

 

샘플 준비


모델 900M 스퍼터 코터를 사용하기 전에 샘플을 적절하게 준비하는 것이 필수적입니다. 샘플은 깨끗하고 건조해야 하며, 오염 물질이나 표면 불규칙성은 제거해야 합니다. 샘플을 준비하려면 다음 단계를 수행해야 합니다.


1단계: 샘플 청소

샘플을 준비하는 첫 번째 단계는 샘플을 철저히 세척하는 것입니다. 이는 용매 세척, 초음파 세척 또는 플라즈마 세척을 포함한 다양한 방법을 사용하여 수행할 수 있습니다. 용매 세척은 아세톤이나 이소프로필 알코올과 같은 적합한 용매로 샘플을 세척하여 표면 오염 물질을 제거하는 것을 포함합니다. 초음파 세척은 샘플을 세척 용액에 넣고 고주파 음파를 사용하여 오염 물질을 제거하는 것을 포함합니다. 플라즈마 세척은 샘플을 저압 플라즈마에 노출시켜 샘플 표면에서 유기 잔류물이나 오염 물질을 제거하는 것을 포함합니다.


2단계: 샘플 건조

샘플을 세척한 후에는 코팅 과정에서 물방울이 형성되는 것을 방지하기 위해 철저히 건조하는 것이 필수적입니다. 이는 공기 건조, 진공 건조 또는 오븐 건조를 포함한 다양한 방법을 사용하여 수행할 수 있습니다. 공기 건조는 샘플을 자연적으로 건조시키는 것을 포함하는 반면, 진공 건조는 샘플을 진공 챔버에 넣고 진공을 적용하여 잔여 수분을 제거하는 것을 포함합니다. 오븐 건조는 샘플을 낮은 온도의 오븐에 넣어 수분을 증발시키는 것을 포함합니다.


3단계: 샘플 장착

샘플이 깨끗하고 건조되면 적합한 홀더에 장착해야 합니다. 홀더는 스퍼터 코터와의 양호한 전기적 접촉을 보장하기 위해 전도성이 있어야 합니다. 샘플은 홀더 표면에 놓아야 하며, 코팅 공정을 방해하지 않도록 과도한 재료는 잘라내야 합니다.

 

샘플 코팅


모델 900M 스퍼터 코터는 몇 가지 간단한 단계를 따라 작동할 수 있는 사용자 친화적인 코터입니다. 모델 900M 코터를 사용하여 샘플을 코팅하려면 다음 단계를 수행해야 합니다.


1단계: 샘플 로딩

샘플 코팅의 첫 번째 단계는 샘플을 코터의 샘플 스테이지에 로드하는 것입니다. 샘플은 스테이지 중앙에 위치해야 하며, 코팅 프로세스에 방해가 되지 않도록 과도한 재료는 잘라내야 합니다.


2단계: 코팅 매개변수 설정

다음 단계는 코터의 조작 패널을 사용하여 코팅 매개변수를 설정하는 것입니다. 설정해야 하는 매개변수에는 코팅 시간, 전류 레벨, 압력 레벨 및 대상 재료, 코팅 두께(선택 사항)가 포함됩니다. 모델 900M 코터는 이러한 매개변수를 쉽게 조정하여 균일한 코팅을 보장합니다.


3단계: 챔버 비우기

코팅 공정을 시작하기 전에 챔버를 비워서 잔류 가스를 제거해야 합니다. 이는 코터의 진공 시스템을 활성화하여 챔버에서 공기를 펌핑하고 저압 환경을 만들어서 수행됩니다.


4단계: 코팅 프로세스 시작

챔버가 비워지면 코팅 공정을 시작할 수 있습니다. 이는 코터의 마그네트론 소스를 활성화하여 이온화된 가스의 플라즈마를 생성함으로써 수행됩니다. 이 플라즈마는 대상 물질에서 샘플 표면으로 원자를 분사하여 얇고 균일한 코팅을 만드는 데 사용됩니다.


5단계: 코팅 프로세스 모니터링

코팅 공정 동안 코팅의 두께와 균일성을 모니터링하는 것이 필수적입니다. 이는 현장 모니터링이나 코팅 후 측정을 포함한 다양한 기술을 사용하여 수행할 수 있습니다.


6단계: 코팅 프로세스 중지

원하는 코팅 두께에 도달하면 코터의 마그네트론 소스를 비활성화하여 코팅 프로세스를 중단할 수 있습니다. 그런 다음 진공 시스템을 사용하여 공기를 챔버로 다시 펌핑하고 샘플을 코터 단계에서 제거할 수 있습니다.

 

결론

결론적으로, VPI의 모델 900M 마그네트론 스퍼터링 코터는 SEM 샘플을 준비하기 위한 효율적이고 사용자 친화적인 도구입니다. 이 코터는 균일하고 재현 가능한 코팅을 생산할 수 있으며, 다재다능하여 광범위한 샘플 크기와 모양에 적합합니다. 이 기사에 설명된 간단한 단계를 따르면 사용자는 이미징 및 분석에 적합한 고품질 SEM 샘플을 준비할 수 있습니다.

시중의 다른 스퍼터 코터와 비교했을 때, 모델 900M은 성능, 사용 편의성, 다재다능함 면에서 최고 중 하나입니다. 다른 스퍼터 코터는 더 전문화되어 있거나 다른 기능을 제공할 수 있지만, 모델 900M은 신뢰할 수 있고 다재다능한 스퍼터 코터를 필요로 하는 사용자에게 훌륭한 선택입니다.

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