top of page

650MH가 재료 과학을 위한 최고의 마그네트론 스퍼터링 코터인 이유

팅팅

May 20, 2023

650MH가 재료 과학을 위한 최고의 마그네트론 스퍼터링 코터인 이유

650MH가 재료 과학을 위한 최고의 마그네트론 스퍼터링 코터인 이유

 

재료 과학을 위한 마그네트론 스퍼터링 코터의 선택은 증착되는 특정 재료, 필요한 필름 품질, 장비 예산과 같은 다양한 요인에 따라 달라집니다. 그러나 650MHz 마그네트론 스퍼터링 코터는 저주파 마그네트론 스퍼터링 코터에 비해 유리하기 때문에 재료 과학에서 일반적으로 선호됩니다.


650MHz 버전과 같은 더 높은 주파수의 마그네트론 스퍼터링 코터는 더 낮은 주파수 코터에 비해 여러 가지 이점을 제공할 수 있습니다. 예를 들어, 650MHz 마그네트론 스퍼터링 코터는 더 균일한 플라즈마 밀도와 더 높은 이온화 속도를 제공할 수 있으며, 이는 더 효율적인 증착 프로세스와 더 나은 필름 품질을 가져올 수 있습니다. 이는 더 높은 주파수가 더 높은 플라즈마 밀도로 이어지고, 이는 차례로 기판 전체에 걸쳐 더 균일한 증착 속도로 이어질 수 있기 때문입니다.


또한, 650MHz 마그네트론 스퍼터링 코터는 더 높은 전력 밀도에서 작동할 수 있어 더 높은 증착 속도와 더 나은 필름 품질로 이어질 수 있습니다. 이는 반도체 산업에서 사용되는 것과 같이 고품질 필름이 필요한 재료에 특히 중요할 수 있습니다.


마지막으로, 650MHz 마그네트론 스퍼터링 코터는 더 나은 공정 안정성과 반복성을 제공할 수 있으며, 이는 정밀성과 재현성이 중요한 재료 과학 연구에 매우 중요할 수 있습니다. 전반적으로, 650MHz 마그네트론 스퍼터링 코터는 저주파 코터에 비해 더 나은 성능과 더 큰 유연성을 제공할 수 있어 재료 과학 연구 및 개발에 선호되는 선택이 됩니다.

VPI 로고

이메일:sales@vpicina.com전화: +86 170 1020 5248     등록: 91110108330267322Y

VPI 중국:www.vpicina.com   

VPI 글로벌:www.vpi2004.com

  • VPI - YouTube Account
  • LinkedIn - VPI Account

No.6 2층, Yard 51, Longgang 도로, Haidian 지구, 베이징, 중국.     ©2022 Vision Precision Instruments Ltd 판권 소유.

bottom of page