Толщина Однородность осаждения
Введение
Покрытия с магнетронным напылением широко применяются при осаждении на больших площадях, и большое внимание уделяется однородности толщины тонкой пленки, коэффициенту осаждения, коэффициенту использования целевого материала и другим проблемам в лакокрасочной промышленности.
Будь то покрытие полупроводникового чипа защитной тонкой пленкой или нанесение антибликового покрытия на линзу очков, инженеры-технологи должны добиться определенных характеристик толщины, чтобы соответствовать требованиям производительности. Равномерность толщины не менее важна, чем сама толщина пленки.
Факторы, определяющие производительность осаждения
Осаждение, процесс, используемый д ля нанесения тонких слоев материала (или пленки) на подложку, является обычной практикой в таких отраслях, как полупроводники и нанотехнологии. Осаждение тонких пленок может быть достигнуто с помощью различных технологий, позволяющих получать пленки от изоляторов до полупроводников и металлов. Пленки могут выполнять одинаково разнообразные роли, начиная от межслойных диэлектриков и заканчивая межсоединениями.
Гибкость
Гибкость, диапазон возможностей, которыми обладает система, может быть важным фактором при принятии решения о том, какой тип системы осаждения следует приобрести. Это в большей степени относится к средам исследований и разработок, а не к промышленным приложениям, где часто предпочтение отдается конкретным решениям. Понимание материалов, которые можно осаждать, размеры подложки, диапазоны температур, ионный поток, скорость осаждения, частоты, конечная точка и режим работы под давлением — это лишь некоторые из соображений. Гибкость также является системным качеством, позволяющим планировать будущее. Приоритеты НИОКР меняются, и полезно иметь систему, которая может справиться с этими изменениями. Над этими соображениями стоит бюджет. В зависимости от типа опций технологии цены на системы могут значительно различаться.
Отчет об испытаниях модели устройства для нанесения покрытия VPI:СД-900М
Левая сторона изображения