
Tingting Z
31. März 2025
Als führendes Hightech-Unternehmen, das auf Vakuumbeschichtung und Materialwissenschaftsgeräte spezialisiert ist, hat Vision Precision Instruments (VPI) die Hochvakuum-Magnetron-Sputtersysteme der Serie SD-650 eingeführt und damit der Forschung und Entwicklung im Bereich fortschrittlicher Energiematerialien einen starken Impuls gegeben.
In den letzten Jahren hat die rasante Weiterentwicklung von Energiespeichertechnologien wie Lithium-Ionen-Batterien, Festkörperbatterien und Natrium-Ionen-Batterien eine „Batterie-Revolution“ ausgelöst. Das Erreichen höherer Energiedichte, längerer Lebensdauer und verbesserter Sicherheit hängt maßgeblich von der Entwicklung innovativer Batteriematerialien ab. Hochwertige Dünnschichtelektroden und Funktionsbeschichtungen spielen eine entscheidende Rolle bei der Verbesserung der Batterieleistung. Hochvakuum-Beschichtungstechnologien , insbesondere das Magnetronsputtern, gewinnen aufgrund ihrer Fähigkeit zur präzisen Herstellung dichter, reiner und funktionaler Dünnschichten an Bedeutung und werden zu unverzichtbaren Werkzeugen in der Herstellung fortschrittlicher Energiematerialien.
Als führendes Hightech-Unternehmen, das auf Vakuumbeschichtung und Materialwissenschaftsgeräte spezialisiert ist, hat Vision Precision Instruments (VPI) die Hochvakuum-Magnetron-Sputtersysteme der Serie SD-650 eingeführt und damit der Forschung und Entwicklung im Bereich fortschrittlicher Energiematerialien einen starken Impuls gegeben.

Technische Merkmale der SD-650-Serie:
Ultrahochvakuum und effizientes Vakuumpumpsystem: Erreicht Vakuumniveaus bis zu 10^-4 Pa innerhalb von Minuten, mit einem Endvakuum von 5×10^-5 Pa. Diese Hochvakuumumgebung gewährleistet Reinheit während der Abscheidung, reduziert Verunreinigungen und erzeugt hochwertige Filme.
Magnetron-Sputterquellen mit Einzel-/Doppel-/Mehrfachtargets: Unterstützt die Installation von zwei oder mehr Magnetrontargets und ermöglicht so das kontinuierliche Sputtern unterschiedlicher Materialien innerhalb eines einzigen Vakuumzyklus, was die Produktion mehrschichtiger Verbundfilme erleichtert.
Vielseitige Stromversorgungsoptionen (DC/RF): Gleichstromsputtern (DC) eignet sich für leitfähige Materialien, während Hochfrequenzsputtern (RF) sich für isolierende Materialien eignet, wodurch die Palette der sputterbaren Zielmaterialien erheblich erweitert wird.
Präzise Vakuum- und Gasflusskontrolle: Ausgestattet mit einem integrierten Verbundvakuummeter zur Echtzeit-Vakuumüberwachung und präziser Ventilsteuerung des Gasflusses, um Stabilität und Wiederholbarkeit während des Sputterabscheidungsprozesses zu gewährleisten.
Erweiterte Benutzeroberfläche und Sicherheitsfunktionen: Der benutzerfreundliche Touchscreen ermöglicht eine einfache Parametereinstellung während des gesamten Prozesses. Zu den Sicherheitsmaßnahmen gehören ein Wasserkühlungssystem und ein Überdruckschutz, die einen zuverlässigen Betrieb gewährleisten.
Gleichmäßigkeit der Beschichtung und Filmqualität: Verwendet Magnetron-Sputtertechnologie mit kreisförmigem Magnetfeld zur Herstellung gleichmäßiger, dichter Beschichtungen mit starker Haftung und minimalem Anstieg der Substrattemperatur, was insbesondere bei wärmeempfindlichen Materialien von Vorteil ist.
Kompaktes Design und benutzerfreundliche Bedienung: Die kompakte Struktur vereinfacht Installation, Bedienung und Wartung und ist ideal für die schnelle Einführung in Forschungslabors.

Vorteile bei der Herstellung von Energiespeichermaterialien:
Herstellung von Dünnschichtelektroden: Präzise Kontrolle der Schichtdicke und -gleichmäßigkeit, wodurch die Zyklenstabilität und die Ratenleistung der Batterie deutlich verbessert werden.
Herstellung funktionaler Elektrolyt-/Grenzflächenschichten: Bildet dichte Schutzschichten auf Elektrodengrenzflächen, unterdrückt Nebenreaktionen und verbessert so die Lebensdauer und Sicherheit der Batterie. Dies ist besonders vorteilhaft für Lithium-Metall- und Festkörperbatterien.
Leitfähige Filme und Stromkollektormodifikation: Erzeugt hochleistungsfähige leitfähige Schichten auf Batterieelektroden und Stromkollektoren, reduziert den Grenzflächenwiderstand und steigert die Gesamtleistung der Batterie.
Anwendungen in der Spitzenforschung zu Batterien:
Hochenergie-Lithium- und Lithium-Metall-Batterien: Verbessert die Batteriestabilität und -sicherheit durch präzise Oberflächenmodifizierung und Grenzflächenbeschichtungen.
Festkörperbatterien: Erzielen engen Kontakt und stabile Schnittstellen zwischen Elektroden und Elektrolyten, wodurch die Schnittstellenimpedanz verringert und die Materialentwicklung und -anwendung beschleunigt wird.
Neue Systeme wie Natrium-Ionen-Batterien: Erleichtert die schnelle Herstellung und Bewertung verschiedener Dünnschichtmaterialien und beschleunigt so die Erforschung neuer Batterietechnologien.

Zahlreiche Universitäten und Forschungseinrichtungen im ganzen Land nutzen VPI-Sputteranlagen für die Forschung an Energiematerialien, Halbleiterdünnschichten und optoelektronischen Bauelementen. Institutionen wie die Changchun University of Technology und die Shanghai Jiaotong University haben SD-650MHT-Systeme erfolgreich in Energiematerialforschungsprojekten eingesetzt und damit die Überlegenheit der Geräte unter Beweis gestellt. Darüber hinaus arbeitet VPI mit Unternehmen der Energiebranche zusammen und nutzt Anlagen für die Pilotproduktion und die Entwicklung neuer Materialien. Das Unternehmen betreut Hunderte von Kunden und genießt breite Anerkennung.
Durchbrüche in der Materialtechnologie werden oft durch fortschrittliche Herstellungsverfahren vorangetrieben. Die Hochvakuum-Magnetron-Sputtersysteme der VPI SD-650-Serie bieten hohe Reinheit, exzellente Gleichmäßigkeit und kontrollierbare Abscheidungsprozesse und tragen so maßgeblich zur Forschung und Industrialisierung von Energiespeichermaterialien bei. Von Batterien mit hoher Energiedichte bis hin zu Festkörper- und Natrium-Ionen-Batterien – die SD-650-Serie treibt den Fortschritt und die Innovation in der Energietechnologie weiter voran. VPI engagiert sich weiterhin für die Weiterentwicklung von Vakuumbeschichtungstechnologien und arbeitet mit der Industrie zusammen, um die Zukunft der Energie zu gestalten.