Magnetron-Sputter-Beschichter Modell 900M von VPI zur Vorbereitung von SEM-Proben

Magnetron-Sputter-Beschichter Modell 900M von VPI zur Vorbereitung von SEM-Proben

Die Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist ein wertvolles Werkzeug in der Materialwissenschaft, um eine Vielzahl von Proben abzubilden und zu analysieren. Um jedoch qualitativ hochwertige REM-Bilder zu erhalten, ist es notwendig, die Probe entsprechend vorzubereiten. Eine Möglichkeit zur Vorbereitung der Probe ist ein Verfahren namens Sputterbeschichtung. Bei der Sputterbeschichtung wird eine dünne Schicht leitfähigen Materials auf die Oberfläche der Probe aufgebracht, um die Qualität des REM-Bildes zu verbessern.

Auf dem Markt sind verschiedene Arten von Sputter-Coating-Geräten erhältlich, aber das Magnetron-Sputter-Coating-Gerät Modell 900M von VPI ist eines der effizientesten und benutzerfreundlichsten. Dieser Artikel enthält eine detaillierte Anleitung zur Verwendung des Magnetron-Sputter-Coating-Geräts Modell 900M zur Vorbereitung von SEM-Proben und erklärt, warum es im Vergleich zu anderen Coatern das beste ist.

Hintergrund

Der Magnetron-Sputtercoater Modell 900M ist ein Vakuum-Sputtercoater, der mit einer Magnetronquelle arbeitet. Diese Magnetronquelle erzeugt ein Plasma aus ionisiertem Gas, mit dem Atome aus einem Zielmaterial auf die Oberfläche der Probe gesputtert werden. Das Modell 900M ist ein vielseitiger Coater, der eine Vielzahl von Materialien auftragen kann, darunter auch leitfähige Metalle wie Gold, Silber und Platin.

Der Coater Modell 900M hat gegenüber anderen Sputter-Coating-Geräten mehrere Vorteile. Erstens ist es ein Hochleistungs-Coating-Gerät, das gleichmäßige und reproduzierbare Beschichtungen erzeugen kann. Zweitens ist das Modell 900M sehr benutzerfreundlich und verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die die Bedienung erleichtert. Schließlich ist das Modell 900M ein vielseitiges Coating-Gerät, das eine Vielzahl von Probengrößen und -formen verarbeiten kann.

Vorbereiten der Probe

Vor der Verwendung des Sputtercoaters Modell 900M ist es wichtig, die Probe entsprechend vorzubereiten. Die Probe sollte sauber und trocken sein und alle Verunreinigungen oder Oberflächenunregelmäßigkeiten sollten entfernt werden. Zur Vorbereitung der Probe sollten die folgenden Schritte ausgeführt werden:

Schritt 1: Reinigen der Probe

Der erste Schritt bei der Vorbereitung der Probe besteht darin, sie gründlich zu reinigen. Dies kann mithilfe verschiedener Methoden erfolgen, darunter Lösungsmittelreinigung, Ultraschallreinigung oder Plasmareinigung. Bei der Lösungsmittelreinigung wird die Probe mit einem geeigneten Lösungsmittel wie Aceton oder Isopropylalkohol gewaschen, um alle Oberflächenverunreinigungen zu entfernen. Bei der Ultraschallreinigung wird die Probe in eine Reinigungslösung gegeben und mit hochfrequenten Schallwellen werden Verunreinigungen entfernt. Bei der Plasmareinigung wird die Probe einem Niederdruckplasma ausgesetzt, das alle organischen Rückstände oder Verunreinigungen von der Oberfläche der Probe entfernt.

Schritt 2: Trocknen der Probe

Nach der Reinigung muss die Probe unbedingt gründlich getrocknet werden, um die Bildung von Wassertropfen während des Beschichtungsprozesses zu verhindern. Dies kann mithilfe verschiedener Methoden erfolgen, darunter Lufttrocknung, Vakuumtrocknung oder Ofentrocknung. Bei der Lufttrocknung lässt man die Probe auf natürliche Weise trocknen, während man bei der Vakuumtrocknung die Probe in eine Vakuumkammer gibt und ein Vakuum anlegt, um jegliche Restfeuchtigkeit zu entfernen. Bei der Ofentrocknung wird die Probe in einen Ofen bei niedriger Temperatur gegeben, um jegliche Feuchtigkeit zu verdampfen.

Schritt 3: Einbetten der Probe

Sobald die Probe sauber und trocken ist, sollte sie auf einem geeigneten Halter montiert werden. Der Halter sollte leitfähig sein, um einen guten elektrischen Kontakt mit dem Sputter-Beschichter sicherzustellen. Die Probe sollte auf die Oberfläche des Halters gelegt werden und überschüssiges Material sollte entfernt werden, um Störungen des Beschichtungsprozesses zu vermeiden.

Beschichten der Probe

Der Sputtercoater Modell 900M ist ein benutzerfreundlicher Coater, der mit wenigen einfachen Schritten bedient werden kann. Um die Probe mit dem Coater Modell 900M zu beschichten, sollten die folgenden Schritte ausgeführt werden:

Schritt 1: Laden der Probe

Der erste Schritt beim Beschichten der Probe besteht darin, diese auf den Probentisch des Beschichters zu laden. Die Probe sollte in der Mitte des Tisches platziert werden und überschüssiges Material sollte entfernt werden, um Störungen des Beschichtungsprozesses zu vermeiden.

Schritt 2: Einstellen der Beschichtungsparameter

Der nächste Schritt besteht darin, die Beschichtungsparameter über das Bedienfeld des Coaters einzustellen. Zu den einzustellenden Parametern gehören die Beschichtungszeit, der Strompegel, der Druckpegel und das Zielmaterial sowie die Beschichtungsdicke (optional). Der Coater Modell 900M ermöglicht eine einfache Einstellung dieser Parameter und gewährleistet so eine gleichmäßige Beschichtung.

Schritt 3: Evakuieren der Kammer

Vor dem Beginn des Beschichtungsprozesses muss die Kammer evakuiert werden, um eventuelle Gasrückstände zu entfernen. Dies geschieht durch die Aktivierung des Vakuumsystems des Beschichters, das Luft aus der Kammer pumpt und eine Unterdruckumgebung erzeugt.

Schritt 4: Starten des Beschichtungsprozesses

Sobald die Kammer evakuiert wurde, kann der Beschichtungsprozess beginnen. Dies geschieht durch die Aktivierung der Magnetronquelle des Beschichters, die ein Plasma aus ionisiertem Gas erzeugt. Dieses Plasma wird verwendet, um Atome aus dem Zielmaterial auf die Oberfläche der Probe zu sprühen, wodurch eine dünne, gleichmäßige Beschichtung entsteht.

Schritt 5: Überwachung des Beschichtungsprozesses

Während des Beschichtungsprozesses ist es wichtig, die Dicke und Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu überwachen. Dies kann mithilfe verschiedener Techniken erfolgen, einschließlich der Überwachung vor Ort oder von Messungen nach der Beschichtung.

Schritt 6: Stoppen des Beschichtungsprozesses

Sobald die gewünschte Beschichtungsdicke erreicht ist, kann der Beschichtungsprozess durch Deaktivieren der Magnetronquelle des Beschichters gestoppt werden. Anschließend kann mithilfe des Vakuumsystems Luft zurück in die Kammer gepumpt und die Probe aus dem Beschichtertisch entfernt werden.

Abschluss

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Magnetron-Sputter-Coater Modell 900M von VPI ein effizientes und benutzerfreundliches Werkzeug zur Vorbereitung von SEM-Proben ist. Der Coater kann gleichmäßige und reproduzierbare Beschichtungen erzeugen und ist aufgrund seiner Vielseitigkeit für eine Vielzahl von Probengrößen und -formen geeignet. Indem Benutzer die in diesem Artikel beschriebenen einfachen Schritte befolgen, können sie hochwertige SEM-Proben vorbereiten, die für die Bildgebung und Analyse geeignet sind.

Im Vergleich zu anderen Sputter Coatern auf dem Markt ist das Modell 900M aufgrund seiner Leistung, Benutzerfreundlichkeit und Vielseitigkeit eines der besten. Andere Sputter Coater sind möglicherweise spezialisierter oder bieten andere Funktionen, aber das Modell 900M ist eine ausgezeichnete Wahl für Benutzer, die einen zuverlässigen und vielseitigen Sputter Coater benötigen.