高真空デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーティングマシン SD-650MHT 強化版

高真空デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーティングマシン SD-650MHT 強化版

最近、Vision Precision Instruments（VPI）は、スパッタリングコーティングマシンの最新のアップグレードバージョンであるSD-650MHT強化バージョンを正式にリリースしました。このデバイスは、優れた性能と便利な操作性を備えており、今年すでに国内のいくつかの大学や研究所と契約を締結しており、研究機関にとって頼りになる選択肢となっています。

製品紹介

SD-650MHTスパッタリングコーティング機は、高度な機械設計と精密な制御システムを採用し、極めて高い真空レベルと安定したガス制御機能を備えています。そのコアコンポーネントには、回転真空ポンプとターボ分子ポンプの組み合わせが含まれており、5×10^-5Paの到達真空を迅速に達成できるため、コーティングプロセス中に高い効率と安定性を確保できます。さらに、この装置には直径260mm、高さ200mmの金属チャンバーが装備されており、より大きなサンプルサイズが可能で、さまざまな実験ニーズに対応できます。

主な特徴

1. 効率的な真空システム**: オイルロータリー真空ポンプとオイルフリーターボ分子ポンプの組み合わせにより、必要な真空レベルが迅速に達成され、実験効率が向上します。

2. 精密なガス制御**: 内蔵のガス流量制御バルブは、大気圧から 10^-6Pa までの広い測定範囲をサポートし、スパッタリングコーティングの精度を保証します。

3. ユーザーフレンドリーなインターフェース**: タッチスクリーンのデザインはシンプルで直感的です。ユーザーは画面からさまざまなパラメータを簡単に設定し、コーティングプロセスをリアルタイムで監視できます。

4. 安全性と信頼性**: 漏れ防止や真空システム保護などの複数の保護対策により、機器と作業員の両方の安全が確保されます。

5. 多様な用途**: さまざまな材料のコーティングニーズに適しており、特に弱磁性物質のスパッタリングターゲットに適しており、用途範囲が大幅に拡大します。

使用上の推奨事項

SD-650MHT はよく考えられた設計で、メインユニットとキャビネットをデスクトップに並べて置き、冷却ボックスと機械式ポンプを地面に置くことを推奨しています。この装置には、3mm ステンレス ホースに接続できる 3mm デュアル メタル フェルール アルゴン ガス インターフェイスを備えたアルゴン ガス装置が必要です。機械を起動する前に、最適な動作条件を確保するために、冷却ボックスの温度を 20℃ に設定することをお勧めします。

ビジョン精密機器

SD-650MHTスパッタリングコーティング機の発売は、VPIが高精度コーティング技術分野で継続的に進歩し、急速に技術を蓄積してきたことを示しています。高効率、高精度、利便性、コスト効率などの特徴は、研究者や研究室に新しい体験とより高い作業効率をもたらします。VPIは今後も「卓越性を追求する」精神を貫き、お客様により良い製品とサービスを提供していきます。

詳細については、VPI 中国公式ウェブサイト: http://www.vpichina.comまたは VPI グローバルウェブサイト: http://www.vpi2004.comをご覧ください。