Революция в области аккумуляторов: высоковакуумные магнетронные распылительные системы VPI для производства передовых энергетических материалов

В последние годы быстрое развитие технологий хранения энергии, таких как литий-ионные аккумуляторы, твердотельные аккумуляторы и натрий-ионные аккумуляторы, вызвало «революцию аккумуляторов». Достижение более высокой плотности энергии, более длительного срока службы и улучшенных показателей безопасности в значительной степени зависит от разработки инновационных материалов для аккумуляторов. Высококачественные тонкопленочные электроды и функциональные покрытия играют решающую роль в повышении производительности аккумуляторов. Технологии высоковакуумного напыления, в частности магнетронное распыление, приобретают известность благодаря своей способности точно производить плотные, чистые, функциональные тонкие пленки, становясь важнейшими инструментами в передовом производстве энергетических материалов.

Будучи ведущим высокотехнологичным предприятием, специализирующимся на оборудовании для вакуумных покрытий и материаловедения, компания Vision Precision Instruments (VPI) представила высоковакуумные магнетронные распылительные системы серии SD-650, придав мощный импульс исследованиям и разработкам передовых энергетических материалов.

Технические характеристики серии SD-650:

Сверхвысокий вакуум и эффективная система вакуумной откачки: обеспечивает уровень вакуума до 10^-4 Па в течение нескольких минут, при этом предельный вакуум составляет 5×10^-5 Па. Эта среда высокого вакуума обеспечивает чистоту во время осаждения, уменьшая количество примесей и производя высококачественные пленки.

Источники магнетронного распыления с одной/двумя/многомишенью: поддерживают установку двух или более магнетронных мишеней, что позволяет осуществлять непрерывное распыление различных материалов в рамках одного вакуумного цикла, облегчая производство многослойных композитных пленок.

Универсальные варианты электропитания (DC/RF): распыление постоянным током (DC) подходит для проводящих материалов, в то время как радиочастотное (RF) распыление подходит для изоляционных материалов, значительно расширяя диапазон распыляемых целевых материалов.

Точный контроль вакуума и расхода газа: оснащен встроенным композитным вакуумметром для мониторинга вакуума в реальном времени и точным клапаном управления расходом газа для обеспечения стабильности и повторяемости в процессе напыления.

Расширенный интерфейс и функции безопасности: удобный сенсорный экран позволяет легко настраивать параметры на протяжении всего процесса. Меры безопасности включают в себя систему циркуляции водяного охлаждения и сброс избыточного давления, что обеспечивает надежную работу.

Равномерность покрытия и качество пленки: использует технологию магнетронного распыления с круговым магнитным полем для получения равномерных, плотных покрытий с прочной адгезией, минимальным повышением температуры подложки, что особенно полезно для термочувствительных материалов.

Компактная конструкция и удобство эксплуатации: компактная конструкция упрощает установку, эксплуатацию и обслуживание, идеально подходит для быстрого внедрения в исследовательских лабораториях.

Преимущества при подготовке материалов для хранения энергии:

Изготовление тонкопленочных электродов: точно контролирует толщину и однородность пленки, значительно повышая стабильность цикла и производительность аккумулятора.

Изготовление электролитного/интерфейсного функционального слоя: формирует плотные защитные слои на интерфейсах электродов, подавляя побочные реакции, увеличивая срок службы и безопасность батареи, что особенно полезно для литий-металлических и твердотельных батарей.

Модификация проводящих пленок и токосъемников: создает высокоэффективные проводящие слои на электродах батареи и токосъемниках, снижая сопротивление интерфейса и повышая общую производительность батареи.

Применение в передовых исследованиях аккумуляторов:

Высокоэнергетические литиевые и литий-металлические аккумуляторы: повышают стабильность и безопасность аккумулятора за счет точной модификации поверхности и межфазных покрытий.

Твердотельные батареи: обеспечивают плотный контакт и стабильные интерфейсы между электродами и электролитами, снижая межфазное сопротивление, ускоряя разработку и применение материалов.

Новые системы, такие как натрий-ионные аккумуляторы: способствуют быстрому изготовлению и оценке различных тонкопленочных материалов, ускоряя исследование новых технологий аккумуляторов.

Сотрудничество с клиентами и исследования:

Многочисленные университеты и научно-исследовательские институты по всей стране использовали распылительное оборудование VPI для исследований в области энергетических материалов, полупроводниковых тонких пленок и оптоэлектронных устройств. Такие учреждения, как Чанчуньский технологический университет и Шанхайский университет Цзяотун, успешно использовали системы SD-650MHT в проектах по исследованию энергетических материалов, подтверждая превосходство оборудования. Кроме того, VPI сотрудничает с предприятиями энергетической отрасли, используя оборудование для опытного производства и разработки новых материалов, обслуживая сотни клиентов и получая широкое признание.

Прорывы в новых технологиях материалов часто обусловлены передовыми процессами изготовления. Высоковакуумные магнетронные распылительные системы серии VPI SD-650 обеспечивают высокую чистоту, превосходную однородность и контролируемые процессы осаждения, внося значительный вклад в исследования и индустриализацию материалов для хранения энергии. От батарей высокой плотности энергии до твердотельных и натрий-ионных батарей серия SD-650 продолжает стимулировать прогресс и инновации в области энергетических технологий. VPI по-прежнему привержена развитию технологий вакуумного покрытия, сотрудничая с отраслями промышленности для формирования будущего энергетики.