Установка магнетронного распыления модели 900M компании VPI для подготовки образцов для СЭМ

Установка магнетронного распыления модели 900M компании VPI для подготовки образцов для СЭМ

Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) является ценным инструментом, используемым в материаловедении для визуализации и анализа различных образцов. Однако для получения высококачественных изображений СЭМ необходимо соответствующим образом подготовить образец. Одним из способов подготовки образца является процесс, известный как напыление. Напыление подразумевает нанесение тонкого слоя проводящего материала на поверхность образца для улучшения качества изображения СЭМ.

На рынке представлено несколько типов распылительных установок, но установка для магнетронного распыления Model 900M от VPI является одной из самых эффективных и удобных в использовании. В этой статье будет представлено подробное руководство по использованию установки для магнетронного распыления Model 900M для подготовки образцов SEM и почему она является лучшей по сравнению с другими установками для нанесения покрытий.

Фон

Магнетронный распылитель Model 900M — это тип вакуумного распылителя, работающего с использованием магнетронного источника. Этот магнетронный источник создает плазму ионизированного газа, которая используется для распыления атомов из целевого материала на поверхность образца. Модель 900M — это универсальный напылитель, который может наносить широкий спектр материалов, включая проводящие металлы, такие как золото, серебро и платина.

Коутер Model 900M имеет несколько преимуществ по сравнению с другими напылительными коутерами. Во-первых, это высокопроизводительный коутер, который может производить однородные и воспроизводимые покрытия. Во-вторых, модель 900M очень удобна для пользователя, имеет интуитивно понятный интерфейс, который делает ее легкой в эксплуатации. Наконец, модель 900M является универсальным коутером, который может работать с образцами самых разных размеров и форм.

Подготовка образца

Перед использованием распылительного устройства Model 900M необходимо соответствующим образом подготовить образец. Образец должен быть чистым и сухим, а любые загрязнения или неровности поверхности должны быть удалены. Для подготовки образца необходимо выполнить следующие шаги:

Шаг 1: Очистка образца

Первым шагом в подготовке образца является его тщательная очистка. Это можно сделать с помощью различных методов, включая очистку растворителем, ультразвуковую очистку или плазменную очистку. Очистка растворителем подразумевает промывку образца подходящим растворителем, например ацетоном или изопропиловым спиртом, для удаления любых поверхностных загрязнений. Ультразвуковая очистка подразумевает помещение образца в чистящий раствор и использование высокочастотных звуковых волн для удаления загрязнений. Плазменная очистка подразумевает воздействие на образец плазмы низкого давления, которая удаляет любые органические остатки или загрязнения с поверхности образца.

Шаг 2: Сушка образца

После очистки образца его необходимо тщательно высушить, чтобы предотвратить образование капель воды во время процесса нанесения покрытия. Это можно сделать различными способами, включая сушку на воздухе, вакуумную сушку или сушку в печи. Сушка на воздухе подразумевает, что образец высыхает естественным образом, в то время как сушка в вакууме подразумевает помещение образца в вакуумную камеру и применение вакуума для удаления остаточной влаги. Сушка в печи подразумевает помещение образца в печь при низкой температуре для испарения влаги.

Шаг 3: Установка образца

После того, как образец станет чистым и сухим, его следует установить на подходящий держатель. Держатель должен быть проводящим, чтобы обеспечить хороший электрический контакт с напылительной установкой. Образец следует поместить на поверхность держателя, а излишки материала следует обрезать, чтобы не мешать процессу нанесения покрытия.

Покрытие образца

Модель 900M sputter coater — это удобная в использовании установка для нанесения покрытий, которой можно управлять, выполнив несколько простых шагов. Для нанесения покрытия на образец с помощью модели 900M coater необходимо выполнить следующие шаги:

Шаг 1: Загрузка образца

Первым шагом в покрытии образца является загрузка образца на столик образца устройства для нанесения покрытия. Образец следует поместить в центр столика, а излишки материала следует обрезать, чтобы не мешать процессу нанесения покрытия.

Шаг 2: Установка параметров покрытия

Следующий шаг — настройка параметров покрытия с помощью панели управления коутерной машины. Параметры, которые необходимо задать, включают время покрытия, уровень тока, уровень давления и целевой материал, а также толщину покрытия (опционально). Коутерная машина модели 900M позволяет легко настраивать эти параметры, обеспечивая равномерное покрытие.

Шаг 3: Эвакуация из камеры

Перед началом процесса нанесения покрытия необходимо вакуумировать камеру для удаления остаточного газа. Это делается путем активации вакуумной системы коутерной машины, которая откачивает воздух из камеры и создает среду низкого давления.

Шаг 4: Начало процесса нанесения покрытия

После того, как камера будет откачана, можно начинать процесс нанесения покрытия. Это делается путем активации магнетронного источника устройства для нанесения покрытия, который производит плазму ионизированного газа. Эта плазма используется для распыления атомов из целевого материала на поверхность образца, создавая тонкое, однородное покрытие.

Шаг 5: Контроль процесса нанесения покрытия

В процессе нанесения покрытия важно контролировать толщину и однородность покрытия. Это можно сделать с помощью различных методов, включая мониторинг на месте или измерения после нанесения покрытия.

Шаг 6: Остановка процесса нанесения покрытия

После достижения желаемой толщины покрытия процесс нанесения покрытия можно остановить, отключив источник магнетрона в устройстве для нанесения покрытия. Затем можно использовать вакуумную систему для закачки воздуха обратно в камеру, а образец можно снять со столика устройства для нанесения покрытия.

Заключение

В заключение, магнетронный распылительный коатер VPI Model 900M является эффективным и удобным инструментом для подготовки образцов SEM. Коатер может производить однородные и воспроизводимые покрытия, а его универсальность делает его пригодным для широкого диапазона размеров и форм образцов. Выполняя простые шаги, описанные в этой статье, пользователи могут подготовить высококачественные образцы SEM, которые подходят для визуализации и анализа.

По сравнению с другими напылительными установками на рынке, модель 900M является одной из лучших благодаря своей производительности, простоте использования и универсальности. Другие напылительные установки могут быть более специализированными или предлагать другие функции, но модель 900M является отличным выбором для пользователей, которым требуется надежная и универсальная напылительная установка.