В чем разница между покрытием, нанесенным методом распыления, и покрытием, нанесенным методом магнетронного распыления?

В чем разница между покрытием, нанесенным методом распыления, и покрытием, нанесенным методом магнетронного распыления?

Напыление — это метод, используемый для нанесения тонких пленок материала на подложку путем бомбардировки целевого материала ионами высокой энергии. В этом процессе целевой материал сначала помещается в вакуумную камеру, а затем ионы ускоряются по направлению к нему с помощью электрического поля. Эти ионы сталкиваются с целевым материалом и выбивают атомы, которые затем перемещаются к подложке и осаждаются на ней, образуя тонкую пленку.

Покрытие магнетронным распылением — это тип покрытия распылением, который использует магнитное поле для повышения эффективности и скорости процесса. В этой технике магнетрон используется для создания магнитного поля, которое захватывает электроны вблизи целевого материала, заставляя его ионизироваться более эффективно и приводя к более высокой скорости осаждения.

Основное различие между покрытием распылением и покрытием магнетронным распылением заключается в использовании магнитного поля в последнем процессе. Покрытие магнетронным распылением имеет ряд преимуществ по сравнению с обычным покрытием распылением, например, более высокую скорость осаждения, улучшенную адгезию пленки и более точный контроль толщины пленки. Кроме того, покрытие магнетронным распылением способно осаждать более широкий спектр материалов, включая металлы с высокой температурой плавления и керамику (650MH), что может быть невозможно при обычном покрытии распылением.